產品型號 | KSS-4L-10D |
產品名稱 | 刻蝕上料機 |
生產工藝 | 在線式、刻蝕工藝 |
設備功能 | 將花籃中的硅片取出輸入至鏈式清洗機。 |
適用硅片 | |
單晶/多晶 | 單晶多晶兼容 |
外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
厚度 | 160μm-220μm |
工裝 | |
花籃工裝 | 4.76×100槽花籃、可定制 |
設備運行能力 | |
實際運行產能(凈產能) | ≥8000片/小時 |
正常運行時間(up time) | ≥98% |
平均無故障時間(MTBF) | MTBF≥500小時 |
平均故障修復時間(MTTR) | MTTR≤1小時 |
碎片率 | ≤0.03% ,A片(不含本身隱裂、線痕等缺陷片) |
動力要求 | |
電源 | AC220V,50HZ |
功率 | 5KW |
壓縮空氣 | 0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥12mm |
環境 | |
溫度/濕度 | 0-35℃,40%-60% |
潔凈度 | 符合十萬級潔凈區規范要求 |
噪音 | ≤60db |
設備結構 | |
整機重量 | 3000KG |
外形尺寸(mm) | 長×寬×高(4100mm×2500mm×2000mm) |
設備操作方位 | 面向主機觸摸屏,自動化在左側是左手機,反之為右手機。 |
花籃工位 | 倆軌×倆側 |
花籃裝卸方式 |
人工裝卸:人工裝卸時,手工直接將花籃放置于花籃工作臺; 亦可對接AGV小車。 |