• 產品展示
    PEGZ-2L2L-SA8


    產品型號 PEGZ-2L2L-SA8
    產品名稱
    生產工藝 在線管式PECVD裝卸片機一拖二
    設備功能 將經過管式PECVD工藝處理后
    的石墨舟內的硅片自動化取
    出裝籃,并將沒經過工藝處
    理的硅片自動化裝入石墨舟。
    適用硅片
    單晶/多晶 兼容
    外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
    厚度 160μm-220μm
    工裝 花籃-石墨舟-舟托-主設備布局
    硅片堆疊盒 花籃下料無堆疊盒,堆疊下料
    時為江松自制堆疊盒
    設備運行能力
    實際運行產能(凈產能) ≥7500片/小時(27片以上舟片的石墨舟,所有的產能都基于
    主設備的產能,主設備的產能不
    足則以主設備的產能為準)
    正常運行時間(up time) 98%
    平均故障時間(MTBF) MTBF≥300小時
    平均故障修復時間(MTTR) MTTR≤2小時
    碎片率 ≤0.08% (單晶A類片,不含主機碎片)
    動力要求
    電源 8KW?
    史陶比爾:380V三相五線制50HZ???
    ABB:220V? 50HZ
    壓縮空氣 壓力:06Mpa? 流量:500L/Min?
    接口:Ф16軟管
    環境
    溫度/濕度 0~35°C? 40%~60%
    潔凈度 符合十萬級潔凈區相關規范要求
    噪音 ≤60db
    設備結構
    整機重量(單位:噸) 6
    外形尺寸(mm) 長6300寬6000高2100(參考)
    設備操作方位 可左可右
    硅片通道數量 4
    硅片通道間距 上料間距322mm下料間322mm
    對接處花籃離地高 下層450mm上層1160mm
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