產品型號 | PEGZ-2L2L-SA8 |
產品名稱 | |
生產工藝 | 在線管式PECVD裝卸片機一拖二 |
設備功能 | 將經過管式PECVD工藝處理后 的石墨舟內的硅片自動化取 出裝籃,并將沒經過工藝處 理的硅片自動化裝入石墨舟。 |
適用硅片 | |
單晶/多晶 | 兼容 |
外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
厚度 | 160μm-220μm |
工裝 | 花籃-石墨舟-舟托-主設備布局 |
硅片堆疊盒 | 花籃下料無堆疊盒,堆疊下料 時為江松自制堆疊盒 |
設備運行能力 | |
實際運行產能(凈產能) | ≥7500片/小時(27片以上舟片的石墨舟,所有的產能都基于 主設備的產能,主設備的產能不 足則以主設備的產能為準) |
正常運行時間(up time) | 98% |
平均故障時間(MTBF) | MTBF≥300小時 |
平均故障修復時間(MTTR) | MTTR≤2小時 |
碎片率 | ≤0.08% (單晶A類片,不含主機碎片) |
動力要求 | |
電源 | 8KW? 史陶比爾:380V三相五線制50HZ??? ABB:220V? 50HZ |
壓縮空氣 | 壓力:06Mpa? 流量:500L/Min? 接口:Ф16軟管 |
環境 | |
溫度/濕度 | 0~35°C? 40%~60% |
潔凈度 | 符合十萬級潔凈區相關規范要求 |
噪音 | ≤60db |
設備結構 | |
整機重量(單位:噸) | 6 |
外形尺寸(mm) | 長6300寬6000高2100(參考) |
設備操作方位 | 可左可右 |
硅片通道數量 | 4 |
硅片通道間距 | 上料間距322mm下料間322mm |
對接處花籃離地高 | 下層450mm上層1160mm |