產品型號
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ZRS-4D-4L2
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產品名稱
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槽式制絨上料機(四通道)
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生產工藝
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在線式,清洗工藝
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設備功能
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將堆疊盒中的硅片裝入濕花籃,并將濕花籃輸入槽式清洗機。
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適用硅片
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單晶/多晶
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單晶多晶兼容
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外形尺寸
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156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
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厚度
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160μm-220μm
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工裝
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堆疊盒工裝
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江松堆疊盒、可定制
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花籃工裝
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4.76×100槽濕花籃、可定制
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設備運行能力
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實際運行產能(凈產能)
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≥9000片/小時
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正常運行時間(up time)
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≥98%
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平均無故障時間(MTBF)
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MTBF≥500小時
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平均故障修復時間(MTTR)
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MTTR≤1小時
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碎片率
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≤0.05% ,A片(不含本身隱裂、線痕等缺陷片)
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動力要求
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電源
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AC220V,50HZ
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功率
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8KW
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壓縮空氣
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0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥16mm
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環境
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溫度/濕度
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0-35℃,40%-60%
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潔凈度
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符合十萬級潔凈區規范要求
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噪音
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≤60db
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設備結構
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整機重量
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5000KG
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外形尺寸(mm)
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長×寬×高(5065mm×3178mm×2200mm)
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設備操作方位
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自動化不分左右手
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花籃工位
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四工位
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堆疊盒工位
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三工位×4軌
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花籃裝卸方式
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人工裝卸:人工裝卸時,手工直接將花籃放置于花籃工作臺;亦可對接AGV小車。
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堆疊盒裝卸方式
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手動裝卸
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